Конструктивно вакуумные реле можно разделить на две основные категории:
Структура типа выхлопа-
Определяющей характеристикой этого типа является наличие вытяжной трубы, что требует использования вакуумной вытяжной станции для откачки воздуха. Приводной механизм якоря расположен *внутри* вакуумной системы; Электромагнитная сила, создаваемая управляющим током, протекающим через катушку, приводит в движение шарнирный якорь,-находящийся в вакууме-. Это движение приводит в движение подвижный контакт, тем самым выполняя операцию переключения (размыкания или замыкания).
Структура типа диафрагмы-
Ключевой особенностью этой конструкции является то, что она не требует отдельного процесса вакуумирования, поскольку вакуумная среда создается непосредственно внутри вакуумной печи для пайки. В этой конфигурации механизм якоря расположен *снаружи* вакуумной камеры, а движение якоря передается внутрь вакуумной камеры через гибкую уплотнительную диафрагму.