Вакуумный переключатель — это тип переключателя, предназначенный для контроля определенного диапазона уровней вакуума; оно также известно как вакуумное реле. Его функция состоит в том, чтобы автоматически размыкать или замыкать цепь управления-и одновременно генерировать электрический сигнал-, когда фактический уровень вакуума, создаваемый во время работы, достигает заданного значения, тем самым давая команду механизму вакуумной адсорбции выполнить свою нормальную работу. Он классифицируется как компонент, критически важный как для надежности, так и для безопасности.
Вакуумные выключатели делятся на три типа: механические, полупроводниковые и пневматические мостовые. Механические вакуумные переключатели определяют изменения вакуумного давления с помощью механического смещения,-примером которого является вакуумный переключатель-диафрагменного типа. Полупроводниковые вакуумные переключатели, наоборот, используют полупроводниковые датчики давления для обнаружения изменений вакуумного давления и способны напрямую преобразовывать обнаруженные сигналы давления в электрические сигналы.